반도체 집적회로·형광등·바이오·의료 등 다양한 분야 활용 가능
기술분야를 살펴보면 표면 처리용 플라즈마 처리장치가 지난 2012년 4건에서 2014년 28건, 지난해 136건으로 급증해 최근 5년간 플라즈마 출원 기술 분야의 대부분인 72%를 차지하고 있다.
플라즈마를 이용한 표면처리 기술은 낮은 온도에서의 작업이 가능하고, 막의 두께를 균일하게 조절할 수 있어 세밀한 작업이 가능하다. 이러한 기술을 통해 반도체 고밀도 집적회로를 비롯해 디스플레이, 거친 유리창 등 산업 곳곳에서 활용되고 있다.
고온 상태의 플라즈마는 핵융합 발전 및 용접 등에 활용할 수 있고, 저온 상태 플라즈마는 주변의 기체를 이온 형태로 변화시켜 표면이나 공기 중에 포함된 오염물질을 분해하고 제거하는데 효과적이다. 또 살균과 상처 치료에도 적용할 수 있어 앞으로 환경·식품·바이오·의료·미용 분야 등 폭넓은 분야에서 활용될 것으로 기대된다.
성백문 특허청 전력기술심사과장은 "반도체 및 디스플레이 산업에서 플라즈마 관련 기술의 활용도가 꾸준히 높아지고 있다"며 "살균과 녹조제거, 자동차 매연 저감장치, 치아 미백 및 기미 치료와 같은 새로운 응용 분야를 위한 플라즈마 기술 수요가 계속 증가하고 있어 관련 특허출원은 꾸준히 증가할 것"이라고 말했다.
임현지 기자
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