이번에 들어온 포토레지스트의 물량은 삼성전자 화성 반도체 공장의 극자외선(EUV) 생산라인으로 보내져 생산 공정에 투입될 예정이다.
삼성전자는 이로 인해 부품 조달에 한숨 돌린 상황이다. 일본 정부가 삼성전자에 한해 최근 포토레지스트 수출을 두 번째로 허가한 것으로 확인되면서 삼성전자는 최대 9개월치를 물량을 확보한 것으로 알려졌다. 이로 인해 삼성전자의 EUV 라인은 차질 없이 진행될 것으로 예상된다.
그러나 아직 고순도 불화수소(HF)와 플루오린 폴리이미드(FPI)는 단 한건도 수출 허가를 받지 못해 반도체 생산 공정에 여전히 ‘빨간불’이 켜진 것으로 파악됐다.
일본의 반도체 부품 소재를 생산하는 중소기업들이 아베 정부를 향해 경영난 우려와 영업 손실을 호소하며 한국에 대한 수출 규제를 해제할 것을 요구한 것으로 알려져 있다.
아베 정부의 칼끝이 한국 반도체 산업을 향하고 있지만 일본의 중소기업 또한 아베의 정부의 피해자로 전락한 상황인 셈이다.
이에 대해 일본의 관련 업체는 여러 대안을 놓고 골몰하고 있는 것으로 전해졌다.
권희진 기자
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